華中科技大學(xué)“微納制造與納米測量技術(shù)”創(chuàng)新團隊通過驗收

 　　5月30日上午，依托華中科技大學(xué)數(shù)字制造裝備與技術(shù)國家重點實驗室的“微納制造與納米測量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團隊結(jié)題驗收工作會議召開。結(jié)題驗收專家組組長由西安交通大學(xué)蔣莊德院士擔(dān)任，成員有大連理工大學(xué)賈振元教授、中南大學(xué)朱文輝教授、清華大學(xué)路新春教授、武漢理工大學(xué)華林教授。華中科技大學(xué)科發(fā)院副院長高亮教授，機械學(xué)院黨委書記、創(chuàng)新團隊負(fù)責(zé)人史鐵林教授及團隊成員等20余人參加了會議。蔣莊德受教育部委托主持驗收報告流程。

　　高亮簡要介紹了會議議程、與會來賓以及“微納制造與納米測量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團隊的基本情況。史鐵林從創(chuàng)新團隊發(fā)展與平臺建設(shè)、創(chuàng)新能力與社會貢獻、科教結(jié)合與人才培養(yǎng)、團隊文化與管理運行等方面向?qū)＜医M作了詳細(xì)匯報。專家組現(xiàn)場考察了該創(chuàng)新團隊核心成員的相關(guān)實驗室，參觀了機械工程學(xué)院大型儀器共享平臺，對該創(chuàng)新團隊在前沿技術(shù)的基礎(chǔ)研究、儀器開發(fā)與應(yīng)用、學(xué)科發(fā)展與人才培養(yǎng)等方面的工作與成果進行細(xì)致核查與質(zhì)詢。

　　專家組通過集中評議，形成了驗收綜合意見，對創(chuàng)新團隊在資助期間取得的優(yōu)異成績給予了充分肯定和高度贊賞。專家組認(rèn)為，“微納制造與納米測量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團隊以學(xué)科發(fā)展前沿和國家重大需求為導(dǎo)向，以基礎(chǔ)科學(xué)問題和大型科研項目為紐帶，開展了原子層沉積技術(shù)與應(yīng)用、跨尺度微納復(fù)合結(jié)構(gòu)制備技術(shù)與應(yīng)用、表面測量技術(shù)/儀器與應(yīng)用、納米結(jié)構(gòu)測量理論/技術(shù)/儀器與應(yīng)用等研究，取得了具有創(chuàng)新性的累累碩果，為我國在微納加工、納米測量等領(lǐng)域提供了理論與技術(shù)支撐，填補了國內(nèi)多項技術(shù)空白和打破國外相關(guān)技術(shù)壟斷。

　　專家組一致同意通過結(jié)題驗收，認(rèn)為總體優(yōu)秀，同時建議教育部給予滾動支持，建議學(xué)校加大投入繼續(xù)支持。高亮、史鐵林表示，將按照專家組的建議和意見不斷改進和完善，為將該創(chuàng)新團隊打造成一支具有國際知名度的創(chuàng)新群體而不懈努力。

　　據(jù)悉，該團隊在建設(shè)期間，取得了一系列科研成果。團隊面向微納制造與納米測量技術(shù)領(lǐng)域，在原子層沉積、跨尺度微納復(fù)合結(jié)構(gòu)制備、表面測量、納米結(jié)構(gòu)測量等方面取得了突破性進展。他們提出了選擇性原子層沉積方法，并開發(fā)了兩類高效薄膜生長裝備;提出了多種規(guī)模化、跨尺度、低成本微納結(jié)構(gòu)制造工藝;開發(fā)了“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀”等系列測量儀器，并成功實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，為國內(nèi)外20余家研究機構(gòu)提供了設(shè)備和測試服務(wù)。團隊人才培養(yǎng)和引進成效顯著，現(xiàn)有國家杰青1名、國家優(yōu)青1名、科技部中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才2名、青年千人4名，獲人才和團隊獎6項。團隊先后培養(yǎng)博士后、博士、碩士108名，承擔(dān)研究生課程9門、本科生課程18門;承擔(dān)國家重大基礎(chǔ)研究項目、國家重大儀器專項、國家自然科學(xué)基金等科研項目30余項，經(jīng)費約1.1億元。團隊同時還發(fā)表SCI論文167篇，出版專著5部;授權(quán)發(fā)明專利69項，其中美國專利3項，獲國際發(fā)明獎3項;舉辦學(xué)術(shù)論壇11次，受邀做特邀報告25次。